案例介紹

半導(dǎo)體制造過程中產(chǎn)生的廢水含有多種復(fù)雜成分，需通過蒸發(fā)濃縮處理。半導(dǎo)體企業(yè)采用電加熱導(dǎo)熱油爐為蒸發(fā)器提供熱源，處理高濃度廢水。

蒸發(fā)器需將廢水加熱至120℃實現(xiàn)水分蒸發(fā)，剩余濃縮廢液便于后續(xù)處置。由于半導(dǎo)體生產(chǎn)連續(xù)性要求高，任何溫度波動都可能影響廢水處理效率，甚至導(dǎo)致產(chǎn)線停滯，因此對熱源穩(wěn)定性要求苛刻。

控溫對象為蒸發(fā)器夾套內(nèi)的導(dǎo)熱油，要求油溫穩(wěn)定在120℃，系統(tǒng)需實時監(jiān)控溫度、壓力及流量參數(shù)，同時需支持遠(yuǎn)程監(jiān)控和異常報警功能。

解決方案采用兩臺280KW電加熱導(dǎo)熱油爐，一用一備，通過PLC集成控制，實時調(diào)節(jié)加熱功率，確保油溫波動在允許范圍內(nèi)。系統(tǒng)配備多級安全保護(hù)，包括超溫自動斷電、壓力異常報警等。